一、項目信息

采購人：****

項目名稱：三軸激光干涉測距儀采購

預算金額：25萬元

擬采購項目概況：項目擬采購的干涉儀用于米級位移的納米精度測量，主要用于面向光刻機對準平面磁浮定位平臺、光學測量掃描平臺的平面位置測量。由于平臺采用并聯方式，傳統長程光柵尺等無法進行平面位置的測量，必須采用激光干涉方式獲得測量數據并進行反饋。該平臺所需達到的技術指標如下：

1）量程30m；

2）測量分辨率1pm；

3）重復度2nm；

4）最大測量速度2m/s；

5）測量帶寬10MHz。

二、采用單一來源采購方式的原因及說明

前期已采購一臺德國Attocube公司IDS3010型號的激光干涉儀，長期處于滿負荷運行狀態，導致項目推進受阻，亟需增購一臺。該設備具有小型化特征，同時在30m量程內科獲得1pm的測量分辨率和2nm的重復精度，指標極為先進，能夠滿足項目需要，本次采購是在原來基礎上的同型號續購，不僅有利于設備維護，同時也能更好地開展科研和實驗工作。因此，本項目建議仍然選擇****代理的德國Attocube公司IDS3010設備。

三、擬定供應商信息

制造商：Attocube

代理商（如果有）：****

公司地址：中國（**）自由貿易試驗區張衡路500弄1號7層706室

四、公示期限

2024年11月25日至2024年11月28日，共計3個工作日

五、其他補充事宜

無

六、聯系方式

1.采購人

聯 系 人：徐**

聯系地址：**市**區孝陵衛街200號****

聯系電話：185****9247

2.采購科

聯 系 人：劉老師

聯系地址：****致遠樓119室

聯系電話：025-****5015

七、附件

單一來源采購專家論證意見表（格式見附件）

單一來源采購專家論證意見表-1.jpg

單一來源采購專家論證意見表-2.jpg